超声扫描显微镜的操纵
2025-11-06
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超声扫描显微镜是(shì)一种合(hé)用性极强的无损检测东西。该产物首要操纵高频的超声波，对各种半(bàn)导体器(qì)件、资料停止检测，可以或许检测出样品外部的气(qì)孔、裂纹、同化(huà)和分层等(děng)缺点，并以图形(xíng)的体例直观展(zhǎn)现。在扫描进程中(zhōng)，不会对样品形(xíng)成毁伤，不会影响样品机能。是(shì)以，被普遍操纵于半(bàn)导体器(qì)件及封装检测、资料检测、IGBT功率模组(zǔ)产物检测等(děng)场所。
撑持A、B、C扫描，透射扫描，多层扫描，JEDEC托盘(pán)扫描，厚度丈量等(děng)扫描形(xíng)式。可用图象的体例显现被测件外部缺点的地(dì)位、外形(xíng)和巨细，并停止缺点的尺寸和面积统计，主动计较缺点占所丈量面积的百分比。
操纵范畴：
半(bàn)导体器(qì)件及封装检测：
分立器(qì)件(IGBT/SiC)、陶瓷基板、塑封IC、光电器(qì)件、微波功率器(qì)件、MEMS器(qì)件、倒装芯片、重叠Stacked Die、MCM多芯片模块等(děng)。
资料检测：
陶瓷、玻璃、金属、塑料、焊接件、水冷散热器(qì)等(děng)。
IGBT功率模组(zǔ)产物检测：
完成 IGBT 模块外部界面和布局缺点的无损检测，精确找到 IGBT 模块资料、工艺中(zhōng)显现的题目，挑选分歧格产物，并增进 IGBT 模块的封装品质晋升。
焦点手艺特色
多参量同步收罗：同时获得(dé)超声的幅值、相位、声速、衰减系数(shù)等(děng)多个关头参数(shù)，比单一参数(shù)检测更周全。
高分辩率成像：操纵高频超声(凡是(shì) MHz-GHz 级)，可完成微米级乃至纳米级分辩率，清楚显现微观布局。
无损检测特征：超声旌旗灯号穿透性强，无需粉碎样品，合(hé)用于固体资料(金属、半(bàn)导体、复合(hé)资料等(děng))的外部检测。
首要操纵场景
电子制(zhì)作(zuò)范畴：检测半(bàn)导体芯片、封装件的外部浮泛、裂纹、键合(hé)缺点，和 PCB 板的分层题目。
资料迷信范畴：阐发复合(hé)资料的外部布局平均性、孔隙率，金属资料的细小裂纹和同化(huà)。
产业质检范畴：对紧密机器(qì)整机、电池(chí)极片、变压(yā)器(qì)绝缘部件等(děng)停止外部品质筛(shāi)查，保证产物靠得(dé)住性。
关头机能目标
扫描规模：从几毫米到几十厘米不等(děng)，适(shì)配差别尺寸样品检测需要。
探测深度：按照样品材(cái)质和超声频次，深度从微米级到厘米级，高频合(hé)适(shì)浅层微观检测，低频合(hé)适(shì)深层穿透。
成像速率：撑持高速扫描形(xíng)式，连系算法优化(huà)，知足批量检测或疾速阐发需要。
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